Elektrostatik Aktüatörler (Eyleyiciler)

NEMS yani Nano Elektro Mekanik Sistemler kullanılarak bir sistemin arkasındaki kontrol mekanizmalarının tasarlandığını teknolojilerin başında aktüatörler (eyleyiciler) geliyor. Bu yazı serimizde çeşitli aktüatörleri açıklayacağız. İlk yazımız elektrostatik aktüatörler ile ilgilidir; 

Elektrostatik Aktüatörler (Eyleyiciler)

Elektronik etkileşim, NEMS teknolojilerinde en yaygın olarak kullanılan teknik olarak ön plana çıkıyor. Entegre devre tasarımına yani diğer bir deyişle mevcut teknolojilerle üretime uyumlu olan elektrostatik aktüatörler (eyleyiciler) genellikle, ivmeölçer, dönme oranı ölçer ve mikro optik parçalar gibi ürünlerde uygulama alanı bulmaktadır.

elektrostatik aktüatör-eyleyiciler

Tarak şekilli elektrostatik aktüatörler, iç içe geçmiş yapılarıyla herhangi bir hareketi kolaylıkla algılar. Tarak uçları arasındaki açıklık belirli bir kapasitif değere işaret eder. Bu değer hareketin yönüne ve açıklığın azalıp artmasına göre değişiklik gösterir. Kapasitans değerindeki değişiklikle cismin ne yönde hareket ettiği ölçülebildiği gibi, kapasitans değerinin değişim hızı ölçülerek de hareketin şiddeti bulunabilmektedir.

Kapasitans değeri değişimi sırasında yapılan iş hesaplanarak, bu değer hareketin yönünde uygulanan kuvvetin bulunmasında kullanılır. Tabi ki tam tersi işlem ile bilinen bir kuvvet uygulandığında beklenen kapasitans değişimini hesaplamak mümkündür.

elektrostatik aktüatör nedir

⇒ Integration of a Bimorph Thermal Microactuator with Electrostatically Acuated Nano Tweezers

Bir Cevap Yazın

E-posta hesabınız yayımlanmayacak. Gerekli alanlar * ile işaretlenmişlerdir